Identificación y medición de ELEMENTOS y su localización basada en el hecho de que los RAYOS X emitidos por un elemento excitado por un rayo electrónico tiene una longitud de onda característica propia y una intensidad relacionada con su concentración. Es llevado a cabo con un microscopio electrónico equipado con un espectómetro de rayos x, con modo de escáner o de transmisión.